无锡吉致电子科技有限公司

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吉致电子JEEZ浅槽隔离抛光液/STI抛光液/浅沟槽隔离化学机械抛光液

发布者:李女士 | 来源:无锡吉致电子科技有限公司发布时间:2023-05-06
产品单价
8.00元/吨
起订量
1吨
供货总量
不限量
发货期限
自买家付款之日起3天内发货
品牌
吉致JEEZ
   

产品名称:浅槽隔离抛光液/STI Slurry抛光液/浅沟槽隔离化学机械抛光液

产品简介:STI Slurry 适用于集成电路当中的铜互连工艺制程中铜的去除和平坦化。

具有高的铜去除速率,碟型凹陷可调,低缺陷等特性。可应用于逻辑芯片以及3D NAND和DRAM芯片等量产使用。清除集成电路中铜抛光后表面的抛光颗粒和化学物残留,以防铜表面腐蚀,降低表面缺陷。

适用范围:

单晶硅、多晶硅的研磨抛光,存储器制程和背照式传感器(BSI)制程等。可定制选择稳定的选择比,去除速率,对氧化物/氮化物的选择比。硅精抛液系列具有低缺陷的优点。BSI抛光液系列具有理想的硅和二氧化硅去除速率和选择比。

无锡吉致电子25年研发生产——浅槽隔离抛光液/STI Slurry抛光液/浅沟槽隔离化学机械抛光液/浅沟槽隔离Slurry/浅槽隔离研磨抛光液/STI浅槽隔离平坦化抛光液slurry/浅沟槽隔离抛光液抛光浆料slurry/吉致电子STI抛光液

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联系人:黄经理

联系电话:17706168670

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地址:江苏省无锡市新吴区行创四路19-2


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主营产品 抛光液,抛光垫,清洁剂 网址 http://jzdzkj192.b2b.huangye88.com/
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