产品单价 |
8.00元/吨 |
起订量 |
1吨 |
供货总量 |
不限量 |
发货期限 |
自买家付款之日起3天内发货 |
品牌 |
吉致JEEZ |
产品名称:浅槽隔离抛光液/STI Slurry抛光液/浅沟槽隔离化学机械抛光液
产品简介:STI Slurry 适用于集成电路当中的铜互连工艺制程中铜的去除和平坦化。
具有高的铜去除速率,碟型凹陷可调,低缺陷等特性。可应用于逻辑芯片以及3D NAND和DRAM芯片等量产使用。清除集成电路中铜抛光后表面的抛光颗粒和化学物残留,以防铜表面腐蚀,降低表面缺陷。
适用范围:
单晶硅、多晶硅的研磨抛光,存储器制程和背照式传感器(BSI)制程等。可定制选择稳定的选择比,去除速率,对氧化物/氮化物的选择比。硅精抛液系列具有低缺陷的优点。BSI抛光液系列具有理想的硅和二氧化硅去除速率和选择比。
无锡吉致电子25年研发生产——浅槽隔离抛光液/STI Slurry抛光液/浅沟槽隔离化学机械抛光液/浅沟槽隔离Slurry/浅槽隔离研磨抛光液/STI浅槽隔离平坦化抛光液slurry/浅沟槽隔离抛光液抛光浆料slurry/吉致电子STI抛光液
无锡吉致电子科技有限公司
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主营产品 | 抛光液,抛光垫,清洁剂 | 网址 | http://jzdzkj192.b2b.huangye88.com/ |